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高精度微型振鏡/壓電掃描鏡

AU-M3-RS微型振鏡將微型壓電馬達、精密導向系統、位移傳感器、微處理器集成到緊湊的空間中，該模塊擁有超小的體積（直徑<12mm），在緊湊的空間中包含一個世界上zui小的壓電馬達和IC驅動，但卻可以提供更高的功率和可靠性，精度比電磁電機高十倍。內置微處理器及PID控制器，無需外加控制器，只需要通過標準的I2C 或者SPI接口輸入簡單的串行命令就可以驅動旋轉臺。內置位移傳感器，使微型振鏡的角分辨率達到0.025°。采用*的自鎖設計，只有在移動時才使用動力，使其擁有極低的功耗。

壓電陶瓷電機微型振鏡、壓電陶瓷電機驅動微型振鏡、微機械微型振鏡，微型振鏡，MENS掃描鏡，微型掃描鏡

高精度微型振鏡/壓電掃描鏡

不需要外部控制器。該模塊將PID控制器集成到電路板上，只需要通過標準的I2C 或者SPI接口輸入簡單的串行命令就可以驅動該控制器。可以通過USB適配器連接電腦，直接通過軟件控制聚焦模塊的運動。操作簡單使用方便。

AU-M3-RS擁有以下幾種開發套件：

①光束控制和鏡面定位系統，該系統是一個完整的光束控制系統。在緊湊的體積（直徑12mm）中包含壓電馬達、位置傳感器、軸承以及內置控制器。在微型振鏡上安裝了一個鍍鋁膜的鏡子，每秒可旋轉1100°，精度可達到0.025°。點對點光束控制和動態掃描頻率可達100Hz。鏡子的偏轉角度可達到±20°采用*的自鎖設計，只有在移動時才使用動力，使其擁有極低的功耗。輸入電壓只需要3.3V。

高精度微型振鏡/壓電掃描鏡

單軸鏡面定位開發套件（AU-DK-M3-RS-U-1M-20）

雙軸光束控制系統（AU-DK-M3-RS-U-2M-20-L）

②旋轉定位平臺（AU-M3-RS-U-360）是集壓電馬達、位置傳感器、軸承以及內置控制器于一體的運動系統。但是其擁有超小的體積，只有12（D）´12.5（H）。該系統可以提供連續的360°運動，并且擁有位置反饋系統，使其分辨率可達到0.025°。該微型振鏡只需要輸入3.3V的直流電壓，運動時耗能僅為500mW，因此可以用電池或者USB作為電源，這非常利于手提和便攜式設備。

u 主要特點

成本低
超小尺寸
低功耗
無外加控制器
高分辨率（0.0057°）

u 主要應用

皮膚科激光、熒光顯微鏡和成像儀器、體內和體外的微激光手術、3D打印、激光雷達、三維測量、遙感、防抖動設備、激光打標、激光雕刻、自由空間光通信、目標指示、目標探測、目標跟蹤等。

u 主要參數

型號參數	AU-M3-RS-U-360	AU-DK-M3-RS-U-1M-20	AU-DK-M3-RS-U-2M-20-L
Rotation Range	360 deg continuous rotation	+/- 20 deg	+/- 20 deg
Speed	> 1100 deg/sec	> 1100 deg/sec	> 1100 deg/sec
Acceleration	> 1,000,000 deg/sec²	> 1,000,000 deg/sec²	> 1,000,000 deg/sec²
Stall Torque (min)	0.04 N-mm	0.04 N-mm	0.04 N-mm
Holding Torque (min)	0.08 N-mm (zero power)	0.08 N-mm (zero power)	0.08 N-mm (zero power)
Recommended Maximum Payload mounted to rotating shaft (Payload must be balanced)
Mass	3 g	3 g	3 g
Inertia	350 g-mm²	350 g-mm²	350 g-mm²
CLOSED-LOOP performance (with built-in position sensor)
Recommended Step Frequency	Up to 100 Hz	Up to 100 Hz	Up to 100 Hz
Resolution (encoder resolution)	0.025 deg (440 µrad) absolute	0.025 deg (440 µrad) absolute	0.025 deg (440 µrad) absolute
Repeatability	+/-0.05 deg (880 µrad)	+/-0.05 deg (880 µrad)	+/-0.05 deg (880 µrad)
Accuracy	0.25 deg (4400 µrad)	0.25 deg (4400 µrad)	0.25 deg (4400 µrad)
Maximum Closed-Loop Step & Settle Times	0.96 g-mm 2 inertial load*	0.99 g-mm 2 inertial load*	0.99 g-mm 2 inertial load*
0.5 deg	9ms	9ms	9ms
5 deg	14ms	14ms	14ms
20 deg	21ms	21ms	21ms
OPEN-LOOP performance (external position sensor provided by user)
Resolution	< 0.0057 deg (< 100 µrad)	<0.0057 deg (<100 µrad)	<0.0057 deg (<100 µrad)
Accuracy	Typically better than 10% of distance travelled after calibration

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